碳化硅如何应用单晶硅线切割上应用?

   2022-11-12 03:13:05 网络210
核心提示:由于碳化硅两种特性:1硬度高2晶体形状不规则,所以广泛应用于单晶硅线切割领域。目前检测碳化硅的方法大都采用日本标准即电阻法(库尔特、欧美克)测量碳化硅粒径。但由于电阻法早先开发时用于圆体细胞检测计数,所以测量不规则的碳化硅还有些牵强。再有电

碳化硅如何应用单晶硅线切割上应用?

由于碳化硅两种特性:1硬度高2晶体形状不规则,所以广泛应用于单晶硅线切割领域。

目前检测碳化硅的方法大都采用日本标准即电阻法(库尔特、欧美克)测量碳化硅粒径。但由于电阻法早先开发时用于圆体细胞检测计数,所以测量不规则的碳化硅还有些牵强。再有电阻法测量的是碳化硅颗粒的宽度值,而游离的碳化硅颗粒自由旋转宽边一侧几乎不接触切割面。

碳化硅颗粒的形状直接关系到单晶硅、多晶硅的产品质量,即碳化硅颗粒的形状变化可以影响到单晶硅、多晶硅的切割效率、切割的成品率。

圆度高、棱角少的碳化硅颗粒磨削效率极低,现在很多碳化硅企业掺回收砂其实回收砂掺多了切割效率自然也就低了,由于这行业发展时间段所以行业内还没统一标准。

我们公司是3000型欧美克测量粒径现在又买了一台瑞思RA200智能颗粒分析仪测量粒型。

铝碳化硅铸造行业对人体的危害,还有氮氧化硼涂料喷涂,产生的粉尘吸入对人体的危害,操作时只有3M口罩

铝碳化硅40%密度是3.21g/cm3。

因为铝碳化硅(AlSiC)是铝基碳化硅颗粒增强复合材料的简称,40%密度是3.21g/cm3。具有高导热率(170~200W/mK)和可调的热膨胀系数(6.5~9.5×10-6/K)。所以铝碳化硅40%密度是3.21g/cm3。

铝碳化硅又称碳化硅铝或铝碳硅,是电子元器件专用封装材料。

碳化硅的主要应用领域?

碳化硅生产环境空气中有大量的游离性二氧化硅,呼吸防护不当,容易患尘肺。为了健康,建议佩戴高等级防尘口罩。现在口罩的最高等级是KN100等级。对超微粉尘防护率99.97%以上。

口罩的选择不是品牌大了就一定好,防护效果主要取决于面罩的密合性和过滤棉的防护等级。

1、口罩必须符合LA认证。

2、口罩有一次性、复式半面罩和全面罩。职业防护建议用半面罩。优质的半面罩采用硅胶材质,柔软舒适,漏气率低于1%。

3、滤棉有KN100,KN95、KN90三个等级。优质的滤棉防护效果好,采用分层过滤方式,呼吸顺畅。

4、口罩分为遮盖口鼻、遮盖口鼻和下颌2种。第二种较为舒适,面部压感低。

现在科技下研发的口罩,已经不再是防护效果好就一定呼吸阻力大的缺点。有的口罩在保证防护效果好、呼吸阻力低的同时,每天费用才一元左右。

碳化硅颗粒增强铝基复合材料研究现状及发展 论文一篇,要综述性的东西,不能有实验和计算内容。

1、磨具磨料

碳化硅作为一种磨料,由于硬度极高,碳化硅能够极快的切割,也可用来清理或蚀刻较硬的工件表面,这些是软性磨料所不能完成的。因为碳化硅具有很高的硬度、化学稳定性和一定的韧性,所以碳化硅能用于制造固结磨具、涂附磨具和自由研磨,从而来加工玻璃、陶瓷、石材、铸铁及某些非铁金属、硬质合金、钛合金、砂轮等。

2、耐火材料

由于碳化硅具有高熔点、化学惰性和抗热震性,所以碳化硅能用于磨俱、陶瓷制品烧成窑炉中用的棚板和匣钵,炼锌工业竖缸蒸馏炉用的碳化硅砖、铝电解槽衬、坩锅、小件炉材等多种碳化硅陶瓷制品品。碳化硅耐火材料具有强度高,导热系数大、抗震性好、抗氧化、耐磨损、抗侵蚀等优良的高温性能,是一种优质耐火材料。

3、铸造行业

碳化硅在铸造行业中至关重要铸造用碳化硅可以有效的改善铁液冶金质量,从而减少以上问题。目前市场上硅铁价格猛涨,碳化硅的价格基本没变,另外硅铁中含有的铝含量比碳化硅的铝含量要高,所以碳化硅代替硅铁也是比较好的,利用碳化硅(一般使用低品质碳化硅)代替硅铁脱氧,也可以为企业节省不少的资源。

4、半导体领域

碳化硅一维纳米材料由于自身的微观形貌和晶体结构使其具备更多独特的优异性能和更加广泛的应用前景,被普遍认为有望成为第三代宽带隙半导体材料的重要组成单元。第三代半导体材料即宽禁带半导体材料,又称高温半导体材料,主要包括碳化硅、氮化镓、氮化铝、氧化锌、金刚石等。

5、光伏领域

光伏逆变器对光伏发电作用非常重要,不仅具有直交流变换功能,还具有最大限度地发挥太阳电池性能的功能和系统故障保护功能。归纳起来有自动运行和停机功能、最大功率跟踪控制功能、防单独运行功能(并网系统用)、自动电压调整功能(并网系统用)、直流检测功能(并网系统用)、直流接地检测功能(并网系统用)等。

碳化硅颗粒增强铝基复合材料的研究现状及发展趋势

摘要:综述了铝基复合材料的发展历史及国内外研究现状,重点阐述了碳化硅颗粒增强铝基复合材料制备工艺的

发展现状。同时说明了碳化硅颗粒增强铝基复合材料研究中仍存在的问题,在此基础上展望了该复合材料的发展前景。

关键词:SiCp /Al 复合材料; 制备方法

中图分类号:TB333 文献标识码:A 文章编号:1001-3814(2011)12-0092-05

Research Status and Development Trend of SiCP/Al Composite

ZHENG Xijun, MI Guofa

(College of Material Science and Engineer, Henan Polytechnic University, Jiaozuo 454000, China)

Abstract:The development history, domestic and foreign research present situation of SiCP /Al composite was

introduced, the research progress of preparation process for SiCP /Al composite were elaborated, the research on SiCP /Al

composite was analyzed and the development prospect of the composite was put forward.

Key words:SiCp /Al compositepreparation methods

收稿日期:2010-11-20

作者简介:郑喜军(1982- ),男,河南西平人,硕士研究生,研究方向为材

料加工工程电话:0391-3987472E-mail:zxjdaili@126.com

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《热加工工艺》2011 年第40 卷第12 期

下半月出版Material &Heat Treatment 材料热处理技术

应用进行了广泛的关注和研究,从材料的制备工艺、

组织结构、力学行为及断裂韧性等方面做了许多基

础性的工作, 取得了显著的成绩。在美国和日本等

国,该类材料的制备工艺和性能研究已日趋成熟,在

电子、军事领域开始得到实际应用。SiC 来源于工业

磨料,可成百吨的生产,价格便宜,SiC 颗粒强化铝基

复合材料被美国视为有突破性进展的材料, 其性能

可与钛合金媲美,而价格还不到钛合金的1/10。碳化

硅颗粒增强铝基复合材料是最近20 年来在世界范

围内发展最快、应用前景最广的一类不连续增强金

属基复合材料,被认为是一种理想的轻质结构材料,

尤其在机动车辆发动机活塞、缸头(缸盖)、缸体等关

键产品和航空工业中具有广阔的应用前景[5-7]。

在1986 年,美国DuralAluminumComposites 公

司发明了碳化硅颗粒增强铝硅合金的新技术, 实现

了铸造铝基复合材料的大规模生产, 以铸锭的形式

供给多家铸造厂制造各种零件[8-9]。美国Duralcan 公

司在加拿大己建成年产11340 t 的SiC/Al 复合材料

型材、棒材、铸锭以及复合材料零件的专业工厂。目

前,Duralcan 公司生产的20%SiCp /A356Al 复合材

料的屈服强度比基体铝合金提高75%、弹性模量提

高30%、热膨胀系数减小29%、耐磨性提高3~4

倍。美国DWA 公司生产的碳化硅增强复合材料随

碳化硅含量的增加,只有伸长率下降的,其他性能都

得到了很大提高。到目前为止,SiCp/Al 复合材料被

成功用于航空航天、电子工业、先进武器系统、光学

精密仪器、汽车工业和体育用品等领域,并取得巨大

经济效益。表1 列举了一些SiCp/Al 复合材料的力

学性能。

目前国内从事研制与开发碳化硅颗粒增强铝复

合材料工作的科研院所与高校主要有北京航空材料

研究院、上海交通大学、哈尔滨工业大学、西北工业

大学、国防科技大学等。哈尔滨工业大学研制的

SiCw/Al 用于某卫星天线丝杆,北京航空材料研究院

研制的SiCp/Al 用于某卫星遥感器定标装置[10-11]。

国内到目前为止还没有出现高质量高性能的碳

化硅颗粒增强铝基复合材料, 虽然部分性能已达到

国外产品的指标, 但在产品的尺寸精度上还存在不

小的差距,另外制造成本太高,离工业化生产还有一

段距离要走。

2 铝基复合材料的性能特征

(1)高比强度、比模量由于在金属基体中加入

了适量的高强度、高模量、低密度的增强物,明显提

高了复合材料的比强度和比模量, 特别是高性能连

续纤维,如硼纤维、碳(石墨)纤维、碳化硅纤维等增

强物,他们具有很高的强度和模量[1]。

(2)良好的高温性能,使用温度范围大增强纤

维、晶须、颗粒主要是无机物,在高温下具有很好的

高温强度和模量, 因此金属基复合材料比基体金属

有更高的高温性能。特别是连续纤维增强金属基基

复合材料,其高温性能可保持到接近金属熔点,并比

金属基体的高温性能高许多。

(3)良好的导热、导电性能金属基复合材料中

金属基体占有很高的体积百分数, 一般在60%以

上,因此仍保持金属的良好的导热、导电性能。

(4)良好的耐磨性金属基复合材料,特别是陶

瓷纤维、晶须、颗粒增强金属基复合材料具有很好的

耐磨性。这是由于在基体中加入了大量细小的陶瓷

颗粒增强物,陶瓷颗粒硬度高、耐磨、化学性能稳定,

用它们来增强金属不仅提高了材料的强度和刚度,

也提高了复合材料的硬度和耐磨性。

(5)热膨胀系数小,尺寸稳定性好金属基复合

材料中所用的增强相碳纤维、碳化硅纤维、晶须、颗

粒、硼纤维等均具有很小的热膨胀系数,特别是超高

模量的石墨纤维具有负热膨胀系数, 加入相当含量

的此类增强物可降低材料膨胀系数, 从而得到热膨

胀系数小于基体金属、尺寸稳定性好的金属基复合

材料。

(6)良好的抗疲劳性和断裂韧性影响金属基复

合材料抗疲劳性和断裂韧性的因素主要有增强物与

复合体系制备工艺

增强体含量

(vol,%)

拉伸强度

/MPa

弹性模量

/GPa

伸长率

(%)

SiCP /2009Al 粉末冶金20 572 109 5.3

SiCP/2124Al 粉末冶金20 552 103 7.0

SiCP/6061Al 粉末冶金20 496 103 5.5

SiCP/7090Al 粉末冶金20 724 103 2.5

SiCP/6061Al 粉末冶金40 441 125 0.7

SiCP/7091Al 粉末冶金15 689 97 5.0

SiCP/A356Al 搅拌铸造20 350 98 0.5

SiCP/A359Al 无压浸渗30 382 125 0.4

表1 碳化硅颗粒增强铝基复合材料的力学性能[1]

Tab.1 Mechanical properties of aluminum matrix

composite reinforced by SiC particle

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材料热处理技术Material &Heat Treatment 2011 年6 月

金属基体的界面结合状态、金属基体与增强物本身

的特性以及增强物在基体中的分布等。特别是界面

结合强度适中,可以有效传递载荷,又能阻止裂纹扩

展,从而提高材料的断裂韧性。

(7)不吸潮、不老化、气密性好与聚合物相比,金

属性质稳定、组织致密,不存在老化、分解、吸潮等问

题,也不会发生性能的自然退化,在空间使用不会分解

出低分子物质而污染仪器和环境,有明显的优势。

(8)较好的二次加工性能可利用传统的热挤压、

锻压等加工工艺及设备实现金属基复合材料的二次

加工。由于铝基复合材料不但具有金属的塑性和韧

性,而且还具有高比强度、比模量、对疲劳和蠕变的

抗力大、耐热性好等优异的综合性能。尤其在最近

20 年以来, 铝基复合材料获得了惊人的发展速度,

表2 列举了一些铝基复合材料的力学性能。

3 主要应用领域

3.1 在航空航天及军事领域的应用

美国ACMC 公司和亚利桑那大学光学研究中

心合作,研制成超轻量化空间望远镜和反射镜,该望

远镜的主镜直径为0.3m,仅重4.54kg。ACMC 公司

用粉末冶金法制造的碳化硅颗粒增强铝基复合材料

还用于激光反射镜、卫星太阳反射镜、空间遥感器中

扫描用高速摆镜等;美国用高体积分数的SiCp/Al代

替铍材,用于惯性环形激光陀螺仪制导系统、三叉戟

导弹的惯性导向球及管型测量单元的检查口盖,成

本比铍材降低2/3;20 世纪80 年代美国洛克希德.马

丁公司将DWA 公司生产的25%SiCp /6061Al 用作

飞机上承载电子设备的支架,其比刚度比7075 铝合

金约高65%;美国将SiCp/6092Al 用于F-16 战斗机

的腹鳍, 代替原有的2214 铝合金蒙皮, 刚度提高

50%,寿命从几百小时提高到8000 小时左右,寿命

提高17 倍,可大幅度降低检修次数,提高飞机的机

动性,还可用于F-16 的导弹发射轨道;英国航天金

属及复合材料公司(AMC)采用高能球磨粉末冶金法

研制出高刚度﹑ 耐疲劳的SiCp/2009Al, 成功用于

Eurocopter 公司生产的N4 及EC-120 新型直升

机[12];采用无压浸渗法制备的高体积分数SiCp/Al 作

为印刷电路板芯板用于F-22“猛禽”战斗机的遥控

自动驾驶仪、发电元件、飞行员头部上方显示器、电

子计数测量阵列等关键电子系统上, 以代替包铜的

钼及包铜的锻钢,可使质量减轻70%,同时降低了

电子模板的工作温度;SiCp/Al 印刷电路板芯板已用

于地轨道全球移动卫星通信系统; 作为电子封装材

料,还可用于火星“探路者”和“卡西尼”土星探测器

等航天器上。美国采用高体积分数SiCp /Al 代替

Cu-W 封装合金作为电源模块散热器,已用于EV1 型

电动轿车和S10 轻型卡车上;美国将氧化反应浸渗法

制备的SiC-Al2O3/Al 作为附加装甲,用于“沙漠风暴”

地面进攻的装甲车;美国GardenGrove 光学器材公司

用SiCp/Al 制备Leopardl 坦克火控系统瞄准镜。

3.2 在汽车工业中的应用

由山东大学与曲阜金皇活塞有限公司联合研制

的SiCp /Al 活塞已用于摩托车及小型汽车发动机;

自20 世纪90 年代以来, 福特和丰田汽车公司开始

采用Alcan 公司的20%SiC/Al-Si 来制作刹车盘;美

国Lanxide 公司生产的SiCp/Al 汽车刹车片于1996

年投入批量生产[13];德国已将该材料制作的刹车盘

成功应用于时速为160km/h 的高速列车上。整体采

用锻造的SiCp/Al 活塞已成功用于法拉利生产的一

级方程式赛车。

3.3 在运动器械上的应用

BP 公司研制的20%SiCp/2124Al 自行车框架已

在Raleigh 赛车上使用;SiCp /Al 复合材料可应用于

自行车链轮、高尔夫球头和网球拍等高级体育用品;

在医疗上用于假体的制造。

4 制备及成型方法

一般来说, 根据铝基体状态的不同,SiCp/Al 的

制备方法大致可分为固态法和液态法两类。目前主

要有粉末冶金法、喷射沉积法、搅拌铸造法和挤压铸

造法。

4.1 粉末冶金法

粉末冶金法又称固态金属扩散法,该方法由于克

增强相/ 基体增强相含量

拉伸强度

/MPa

弹性模量

/GPa

伸长率(%)

SiC/Al-4Cu 15 476 92 2.3

SiCp /ZL101 20 375 101 1.64

SiCp /ZL101A 20 330 100 0.5

SiCp /6061 25 517 114 4.5

SiCp /2124 25 565 114 5.6

Al2O3 /Al-1.5Mg 20 226 95 5.9

Cf /Al 26 387 112 -

表2 金属基复合材料的力学性能[1]

Tab.2 Mechanical properties of metal matrix composite[1]

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《热加工工艺》2011 年第40 卷第12 期

下半月出版Material &Heat Treatment 材料热处理技术

服了碳化硅颗粒与铝合金熔液润湿困难的缺点,因而

是最先得到发展并用于SiCp/Al 的制备方法之一。具

体制备SiCp/Al 的粉末冶金工艺路线有多种,目前最

为流行和典型的工艺流程为:碳化硅粉末与铝合金粉

末混合一冷模压(或冷等静压)一真空除气一热压烧

结(或热等静压)一热机械加工(热挤、轧、锻)。

粉末冶金法的优点在于碳化硅粉末和铝合金粉

末可以按任何比例混合,而且配比控制准确、方便。

粉末冶金法工艺成熟,成型温度较低,基本上不存在

界面反应、质量稳定,增强体体积分数可较高,可选

用细小增强体颗粒。缺点是设备成本高,颗粒不容易

均匀混合,容易出现较多孔隙,要进行二次加工,以

提高机械性能,但往往在后续处理过程中不易消除;

所制零件的结构、形状和尺寸都受到一定的限制,粉

末冶金技术工艺程序复杂,烧结须在在密封、真空或

保护气氛下进行, 制备周期长, 降低成本的可能性

小,因此制约了粉末冶金法的大规模应用。

4.2 喷射沉积法

喷射沉积法是1969 年由Swansea 大学Singer

教授首先提出[14],并由Ospray 金属有限公司发展成

工业生产规模的制造技术。该方法的基本原理是:对

铝合金基体进行雾化的同时,加入SiC 增强体颗粒,

使二者共同沉积在水冷衬板上, 凝固得到铝基复合

材料。该工艺的优点是增强体与基体熔液接触时间

短,二者反应易于控制;对界面的润湿性要求不高,

可消除颗粒偏析等不良组织, 组织具有快速凝固特

征;工艺流程短、工序简单、效率高,有利于实现工业

化生产。缺点是设备昂贵,所制备的材料由于孔隙率

高而质量差必须进行二次加工, 一般仅能制成铸锭

或平板; 大量增强颗粒在喷射过程中未能与雾化的

合金液滴复合, 造成原材料损失大, 工艺控制较复

杂,增强体颗粒利用率低、沉积速度较慢、成本较高。

4.3 搅拌铸造法

搅拌铸造法的基本原理[15-17]:依靠强烈搅拌在合

金液中形成涡漩的负压抽吸作用, 将增强体颗粒吸

入基体合金液体中。具体工艺路线:将颗粒增强体加

入到基体金属熔液中, 通过一定方式的搅拌与一定

的搅拌速度使增强体颗粒均匀地分散在金属熔体

中,以达到相互混合均匀与浸润的目的,复合成颗粒

增强金属基复合材料熔体。然后可浇铸成锭坯、铸件

等使用。该方法的优点是:工艺简单、设备投资少、生

产效率高、制造成本低、可规模化生产。缺点是:加入

的增强体颗粒粒度不能太小, 否则与基体金属液的

浸润性差, 不易进入金属液或在金属液中容易团聚

和聚集;普遍存在界面反应,强烈的搅拌容易造成金

属液氧化,大量吸气及夹杂物混入,颗粒加入量也受

到一定限制,只能制成铸锭,需要二次加工。

4.4 挤压铸造法

挤压铸造法是首先把SiC 颗粒用适当的粘结剂粘

结,制成预制块放入浇注模型中,预热到一定的温度,

然后浇入基体金属液,立即加压,使熔融的金属熔液浸

渗到预制块中,最后去压、冷却凝固形成SiCp/Al。该方

法的优点是:设备较简单且投资少,工艺简单且稳定

性较好,生产周期短,易于工业化生产,能实现近无余

量成型,增强体体积分数较高,基本无界面反应。缺点

是容易出现气体或夹杂物,缺陷比较多,需增强颗粒

需预先制成预成型体, 预成型体对产品质量影响大,

模具造价高,而且复杂零件的生产比较困难。

5 SiCp /Al 复合材料发展的建议与对策

SiCp /Al 复合材料作为一种新的结构材料有着

广阔的发展前景, 但要实现产业化还需做大量的研

究工作。除了要对SiCp/Al 复合材料的制备工艺、界

面结合状态、增强机制等方面的内容做进一步研究,

其相关领域的研究及发展也应给予重视。

5.1 现有制备工艺进一步完善和新工艺的开发

现有工艺制备方法虽然已经成功制造了复合材

料,但很难用于工业化生产且尚处于实验室研究阶

段[18]。SiC 颗粒存在于铝液中,使金属液粘度提高,流动

性降低,铸造时充填性变差,当颗粒含量增加至20%或

在较低温度(<730℃)时,流动性急剧降低以致于无法正

常浇注。另外,SiC颗粒具有较大的表面积, 表面能较

大,易吸附气体并带入金属液中,而金属液粘度大也易

卷入气体并难以排出,产生气孔缺陷。因此,对现有工

艺的进一步完善和新工艺的开发成为下一步研究工作

的主要任务。

5.2 后续加工工艺的研究

金属基复合材料的切削加工、焊接、热处理等后

续加工工艺的研究较少,成为限制其应用的瓶颈。高

强度、高硬度增强体的加入使金属基复合材料成为

难加工材料[18-19],而由于增强体与基体合金的热膨胀

系数差异大引起位错密度的提高, 也使金属基复合

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Hot Working Technology 2011, Vol.40, No.12

材料热处理技术Material &Heat Treatment 2011 年6 月

材料的时效行为与基体合金有所不同[20]。另外,增强

体影响焊接熔池的粘度和流动性, 并与基体金属发

生化学反应限制了焊接速度, 给金属基复合材料的

焊接造成了极大困难。因此, 解决可焊性差的问题

也成为进一步研究的主要方向。

5.4 环境性能方面的改善

金属基复合材料的环境性能方面的研究, 即如

何解决金属基复合材料与环境的适应性, 实现其废

料的再生循环利用也引起了一些学者的重视, 这个

问题关系到有效利用资源,实现社会可持续发展,因

此, 关于环境性能方面的研究将是该领域今后研究

的热点。由于铝基复合材料是由两种或两种以上组

织结构、物理及化学性质不同的物质结合在一起形

成一类新的多相材料, 其回收再利用的技术难度要

比传统的单一材料大得多。随着铝基复合材料的批

量应用,必然面临废料回收的问题,通过对复合材料

的回收再利用, 不但可减少废料对环境的污染还可

减低铝基复合材料的制备成本、降低价格,增加与其

他材料的竞争力,有利于促进自身的发展。文献[21]

配制了混合盐溶剂, 采用熔融盐法成功地分离出颗

粒增强铝基复合材料中的增强材料,研究结果表明,

利用该技术处理颗粒增强铝基复合材料, 其回收利

用率可达85%。

6 结语

与铝合金基体相比, 铝基复合材料具有更高的

使用温度、模量和强度,热稳定性增加及更好的耐磨

损性能,它的应用将越来越广泛。然而,在目前的

研究中仍然存在许多疑问和有待解决的问题, 例如

怎样去克服铝基复合材料突出的界面问题, 并且力

求研究结果有助于改善生产应用问题; 在制备过程

前后, 怎样通过热处理手段来改善成品的各方面性

能;如何利用由于热失配造成的内、外应力使材料服

役于各种环境。此外,原位反应中仍不免其他副反应

夹杂物存在, 同时对增强体的体积分数也难以精确

控制,这些都是亟待研究解决的问题。

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[21] 费良军,朱秀荣,童文俊,等.颗粒增强铝基复合材料废料回收的试验研究[J].复合材料学报,2001,18(1):67-70.

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