三甲基一氯硅烷，无色透明液体，有刺激臭味，在空气中暴露，易和潮气反应产生氯化氢，别名三甲基氯（甲）硅烷，化学式 (CH3)3SiCl。有严重毒性和腐蚀性。
用途:可用于生产各种有机硅化合物，是生产六甲基二硅氮（胺）烷和六甲基二硅氧烷的主要原料。以及用作有机硅树脂的单体，主要用作封端剂。
制备：
氯甲烷与硅粉在氯化亚铜催化下一步直接合成，生成甲基氯硅烷混合物，经精馏提纯可得三甲基氯硅烷及其他单体。实验室制备可将四甲基硅烷与乙酰氯在三氯化铝存在下反应。
三甲基氯硅烷的用途及性能
名字应该是“三甲基一氯硅烷”，亦可简称为“三甲基氯硅烷”，结构简式(CH3)3SiCl
三甲基氯硅烷十分易燃，燃烧火焰明亮，有白色固体生成。三甲基氯硅烷和水反应生成盐酸。
被污染的水无毒，但含有盐酸，盐酸就是污染物。不能被过滤。
其危害如下:
一、健康危害
侵入途径：吸入、食入、经皮吸收。
健康危害：对呼吸道和眼睛、皮肤粘膜有强烈刺激作用。吸入后可因喉、支气管的痉挛、水肿，化学性肺炎、肺炎、肺水肿而致死。接触工人往往有眼痛、流泪、咳嗽、头痛、恶心、呕吐、喘息、易激动、皮肤发痒等。
二、毒理学资料及环境行为
危险特性：易燃，遇高热、明火或与氧化剂接触，有引起燃烧爆炸的危险。受热或遇水分解放热，放出有毒的腐蚀性烟气。具有腐蚀性。
燃烧(分解)产物：一氧化碳、二氧化碳、氧化硅、氯化氢。
3.现场应急监测方法:
4.实验室监测方法:
气相色谱法，参照《分析化学手册》(第四分册，色谱分析)，化学工业出版社
5.环境标准：
6.应急处理处置方法:
一、泄漏应急处理
迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，并进行隔离，严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿消防防护服。不要直接接触泄漏物。尽可能切断泄漏源，防止进入下水道、排烘沟等限制性空间。小量泄漏：用砂土、干燥石类或苏打灰混合。也可以用不燃性分散剂制面的乳液刷洗，洗液稀释后放入废水系统。大量泄漏：构筑围堤或挖坑收容。用泡沫覆盖，降低蒸气灾害。用防爆泵转移至槽车或专用收集器内，回收或运至废物处理场所处置。
二、防护措施
呼吸系统防护：可能接触其蒸气时，应该佩戴自吸过滤式防毒面具(全面罩)。紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴隔自给式呼吸器。
眼睛防护：戴化学安全防护眼镜。
身体防护：穿防毒物渗透工作服。
手防护：戴橡胶手套。
其它：工作现场严禁吸烟。工作毕，淋浴更衣。注意个人清洁卫生。
三、急救措施
皮肤接触：立即脱去被污染的衣着，用大量流动清水冲洗至少15分钟。就医。
眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。就医。
吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止时，立即进行人工呼吸。就医。
食入：误 服者用水漱口，给饮牛奶或蛋清。就医。
灭火方法：喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。灭火剂：二氧化碳、干粉、砂土。禁止用水或泡沫灭火。
用途
1、由于硅-卤键的特殊活泼性，由三甲基氯硅烷出发，可以合成一系列含硅-官能团结构的有机硅化合物，如三甲基烷氧基硅烷、六甲基二硅氧烷、六甲基二硅氮烷、三甲基氰基硅烷等。 2、三甲基氯硅烷是在有机分子中引入三甲基硅基的优良试剂，可以作为羟基、羧基、氨基等官能团的保护基团。连接和脱去三甲基硅基的反应，产率高，条件温和，适用范围广，在有机合成中得到广泛应用。
3、某些生化样品经与三甲基氯硅烷反应得到硅烷化的衍生物，具有大的挥发性，使生化样品的气相色谱分析得以实现。
4、三甲基氯硅烷是作为有机硅高聚物的封头剂，起到调节高聚物分子量的作用，特别是在硅油的生产中有广泛应用。
性质
三 甲基 氯 硅烷【 5 ( c h l o r o t r i m e t h y l s i l a n e ， 简称 T MC S ) 又名氯代三甲基硅烷， 是无色、 易挥发、 易燃的 液体， 溶于苯、 乙醚、 和全氯乙烯中， 遇水即水解， 释出 游离盐酸， 是在有机分子中引入三甲基硅基的优良试 剂。 T MC S属于硅卤键化合物， 由于硅 一卤键的特殊 活泼性， 以T MC S为原料可以合成一系列含有硅官能 团的有机硅化物，， T MC S可参与的主要化学反应见图
1所示
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