先看有没有漏，最简单的办法就是静态保压，把阀门关闭之后看真空度上升的时间，对比原来的情况，看看升压率是否超标
如果没有漏，那有可能是前级泵泵油乳化了，或者是抽气管道有漏
然后像一楼所说的真空室做清理也会有一定效果
如果是电子枪蒸发，你要看你的光斑有没有打到坩埚外面了
原因很多，不过最重要集中在真空室和管道看有没有漏，在看抽气系统有没有问题
真空镀膜机真空抽不上去怎么回事
一、电控柜的操作
1、玻璃真空镀膜机开水泵、气源
2、开总电源
3、开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。
4、开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。
5、观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。
二、DEF-6B电子枪电源柜的操作
1、总电源
2、真空镀膜设备同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：汽车玻璃镀膜按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。
3、开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。
三、关机顺序
1、关高真空表头、关分子泵。
2、待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。
3、到50以下时，再关维持泵。
镀膜机常见故障及处理方法
检测不到掩膜夹具翻转信号：
1、检查翻面信号源位置
2、将翻面输入信号人工短接，使用翻面检测功能，计算机能检测到信号时，证明问题在翻面控制开关上，根据情况做相应处理。检测不到信号首先检查线路，然后更换控制卡。
掩膜夹具翻转不稳定:
1、检查翻板的初始位置是否符合时机
2、检测翻面控制开关工作是否稳定，可用指针万用表跟踪监测。
3、检查翻转机构动作是否灵活可靠
4、检查翻面信号次数设置
5、检查旋转工作台是否与钟罩内壁有磨擦现象
6、检测旋转工作台在转动时的稳定性
在同一掩膜夹具频率散差大:
1. 检查晶片本身是否散差大
2. 检查膜层修正板位置是否变动,重新调节修正板
3．检查一下挡板在开、关时是否完全遮挡住钼舟
4．检查一下轰击环是否完遮挡住钼舟
5、检查钼舟使用是否符合要求，要采用圆形钼舟
锅与锅之间频率散差大:
1、观察一下监控片是否存在跳频现象
2、反复测量统一监控片观察振荡器的稳定性（不超过75Hz）
3、检查冷却水是否通畅
4、检查钼舟使用是否符合要求，要采用圆形钼舟
5、监控片选用是否符合要求，建议采用我公司的监控片
镀膜频率不停止:
抽空时间相同，而真空度偏低，这时候关闭主阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏，应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，重点查找真空泵及阀门看哪里出现泄漏，或是扩散泵油污染或氧化；或前级管路密封不好，泵油不足；或泵油乳化，轴封漏油等。漏--分内漏和外漏，较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，比如用蜡烛或打火机在可疑点附近逐步查寻，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。查找小漏和微漏：利用在高真空状态下电离管对某些气体反应敏感来检漏，比如丙酮或乙醇，用医用注射器向可疑的地方喷射丙酮或乙醇，喷到漏点时，电离计的指针会有明显摆动。用这种方法检漏一定要有耐心，一定要等到电离计的示值稳定了--也就是真空机组的抽气能力和漏率平衡了，然后再喷射。最好是反复几次，确认漏点。内漏多发生在有水冷套的设备上，查外漏没有发现疑点，但是却有以下现象：机械泵的抽速明显偏低、真空计示值低、机械泵油很快乳化、真空室内的铁基零部件明显锈蚀。具备以上条件基本可以确定有内漏。
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