干式真空泵的定义
干式真空泵很早就出现了,但没有明确的定义。就代替油封式机械泵来说,一般通用的说法是:
能在大气压到10-2Pa
的压力范围内工作在泵的抽气流道(如泵腔)中,不能使用任何油类和液体、排气口与大气相通,能连续向大气中排气的泵,
即称为干式真空泵(也称为无油真空泵)。干式真空泵的分类
现在市场上提供的干式泵种类很多。就其基本原理来分,
只有两类,
即:
①
容积式的无油真空泵,
例如多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。这种干式泵的极限压力一般为0.1～10Pa,
抽速为0.01～
0.04m
3?s。
②
动量传输式的无油真空泵,如涡轮式无油泵。排气侧与大气相接,
在连续流状态下压缩比较高。它是一种粗抽泵,
可从大气压抽到1022Pa。在结构上采用径向流和周向流泵的复合式结构,多级串联抽气。这种涡轮式泵的极限压力约为10-2Pa,
抽速为0.02～0.15m
3?s。牵引型干式泵也属于动量传输式的干式泵。
这些干式泵和油封式机械泵相比,
达到同样的极限压力,
其残余气体成分则全然不同,经分析结果明,
油封泵的残余气体,
CnHm
气体(碳氢化合物气体)为其主要成分,
而干式泵的残余气体为空气的组成成分。这就证实了干式泵的抽气不再有油的污染了。
有些干式泵在结构设计上,
如泵的传动齿轮和轴承等仍在使用润滑油,
也有用合成油,
如PFPE
油和其油脂等,并采取一定的措施使油蒸汽在泵腔内不存在,
严格来说不是全无油的泵,
但经分析,
这种合成油的成分在泵入口处是微乎其微的,并无影响。
真空泵有哪些类型？
首先你要理解什么是干式真空泵。
干式真空泵是相对于湿式真空泵而言的，例如水环真空泵需要水或者其他溶液做工作液，否则无法工作。旋片真空泵或者滑阀真空泵需要油做介质。而干式真空泵不要任何工作液就可以工作。
干式真空泵目前主要有罗茨干式真空泵真空泵，螺杆干式真空泵，爪式干式真空泵。这三类的转子分别是罗茨转子、螺杆转子、爪式转子。名称也是这么来的。
目前国内用的最多的就是螺杆干式真空泵和爪式干式真空泵。故障率都比较高。
罗茨干式真空泵国内能做的了的一个巴掌数的过来。但是在国外，罗茨干式真空泵最广泛。其实在同样加工精度下，罗茨结构更稳定。
上面说的都是真空度比较高的，都是多级转子组合起来的。
另外，罗茨气冷真空泵也可以称作干式真空泵，但是真空度很低。
真空泵的主要类型及其适用范围
凡是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵，称为机械真空泵。
机械真空泵按其工作原理及结构特点分述如下：
一、变容真空泵
它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。
1、往复式真空泵 ：利用泵腔内活塞往复运动，将气体吸入、压缩并排出。又称为活塞式真空泵。
2、旋转式真空泵 ： 利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。它大致有如下几种分类：
1)油封式真空泵 它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙，减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。
2)液环真空泵 将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时，把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油，所以亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。
3)干式真空泵 它是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体，因此，适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。
4)罗茨真空泵泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。
二、动量传输泵
它依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。这类泵可分为以下几种形式：
1、分子真空泵 ：它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为：
1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。
2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
3)复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
按其工作原理，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。
一、气体输送泵包括：1、液环真空泵（水环式真空泵）2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等
二、气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等。
随着真空技术的不断发展，人们所能获得的真空范围越来越广，从绝对压力1. 0133×l05Pa到133. 32×10- '5Pa。因此，将真空区域划分如下：
粗真空：压力范围为101.3×l03～1. 3332×l03Pa (10～760mmHg)
低真空：压力范围为1. 3332×l03～133.2×lO-zPa (10-2～lOmmHg)中真空：压力范围为133.2×10-z—133.2×l0-7Pa (10-4～10-2mmHg)高真空：压力范围为133.2×10-4—133.2×l0-7Pa (10'7-10-4mmHg)超高真空：压力范围低于133.2×l0-7Pa(低于l0-7mmHg)化工生产中，一般在粗、低真空区域内操作即能达到生产要求。 真空泵的种类按工作条件可分为干式真空泵和湿式真空泵。于式真空泵只能从设备里抽出气体，其真空度可达到96y/—99. 9}/；湿式真空泵可抽取气液混合物，其真空度可达到80%—85%。真空泵的主要性能有抽气速率和极限真空等指标。1．抽气速率单位时间内抽吸气体的体积叫抽气速率，用符号S表示，单位为1113／h或d/s，它表明真空泵的抽气能力。2．极限真空极限真空又称残余压力，指真空泵所能达到的最低绝对压力值，用符号声＆表示，单位为Pa。3．真空度和真空度百分数真空度是大气压力和真空系统中绝对压力的差值，用符号户，表示，单位为Pa。即p。-101.3×l03_p (Pa)式中p-真空系统中的绝对压为，Pa。
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