电涡流位移传感器的重要指标包括精度（也有叫绝对误差，线性度），指传感器测量值偏离理论真实值的偏差。
分辨率也很重要，是电涡流位移传感器能够产生示数变化所需的最小位移值。
工业客户往往会对重复性更加关注。
还有温度稳定性等参数，都是评估电涡流位移传感器是否合格的重要标准。通常国家级的检测机构可以对电涡流位移传感器的各项指标进行评估，并给出报告。
德国米铱eddyNCDT系列电涡流位移传感器
电涡流传感器的精度是不是一般都比较高
对被测体的要求
为了防止电涡流产生的磁场影响仪器的正常输出安装时传感器头部四周必须留有一定范围的非导电介质空间，如果在某一部位要同时安装两个以上的传感器，就必须考虑是否会产生交叉干扰，两个探头之间一定要保持规定的距离，被测体表面积应为探头直径3倍以上，当无法满足3倍的要求时，可以适当减小，但这是以牺牲灵敏度为代价的，一般是探头直径等于被测体表面积时，灵敏度降低至70%，所以当灵敏度要求不高时可适当缩小测量表面积。
对工作的温度的要求
一般进口涡流传感器最高温度不大于180℃，而国产的只能达到120℃，并且这些数据来源于生产厂家，其中有很大的不可靠性，据相关的各种资料分析，实际上，工作温度超过70℃时，电涡流传感器的灵敏度会显著降低，甚至会造成传感器的损坏，在核电站工业、涡轮发动机制造、火箭发射、汽车发动机检验、冶金钢铁熔炉等领域必要耐高温的电涡流传感器耐受性必须很高，据悉英国真尚有集团电涡流传感器设计工程师成功研发出了能够耐受上千摄氏度的此类传感器。电涡流传感器的灵敏度受温度的影响，在轴振测量中安装使用电涡流传感器应尽量远离汽封，只有特制的耐高温传感器如高低温电涡流传感器才能用于安装汽封附近。
对探头支架的要求
电涡流传感器安装在固定支架上，因此支架的好坏直接决定测量的效果，这就要求支架应有足够的刚度以提高自振频率，避免或减小被测体振动时支架也同时受激自振，资料表明，支架的自振频率至少应为机械旋转速度的10倍，支架应与被测表面切线方向平行，传感器垂直安装在支架上，虽然探头的中心线在垂直方向偏15°角时对系统特性没有影响，但最好还是保证传感器与被测面垂直。
对初始间隙的要求
各种型号电涡流传感器，都在一定的间隙电压值下，它的读数才有较好的线性度，所以在安装传感器时必须调整好合适的初始间隙，对每一套产品都会进行特性试验，绘出相应的特性曲线，工程技术人员在使用传感器的时候必须仔细研究配套的校验证书，认真分析特性曲线，以确定传感器是否满足所要测量的间隙，一般传感器直径越大所测量间隙也越大。
电涡流式传感器传感器的功率是多大？测量时要如何使用才能比较省电？
一般的电涡流传感器精度都比较高，例如kd2306电涡流位移传感器的精度就可以达到几十微米等级，一般来说精度都是电涡流位移传感器量程的1%以下，分辨率更是达到了0.1微米。而高精度电涡流位移传感器相较于一般的电涡流传感器应该是精度上的差别，优势也应该是精度和分辨率等其他参数级别更高。
电涡流位移 电涡流传感器介绍及特点
SMT是一款专门为客户定制的OEM产品，可测非导磁体和铁磁材料，有1、
2或3通道可配电涡流探头。拥有埃米级分辨率，符合CE和ROHS标准，尺
寸小巧，并可配13种电涡流探头。同时材料、线性、分辨率、带宽各种
性能可自行优化。
客户咨询时需填写的7个问题:
1.被测物材质、大小和形状
2.校准量程
3.分辨率
4.线性度
5.热灵敏度
6.重复性
7.传感器的电缆长度
应用领域
光学平台位置测量、半导体和光器件的研磨、半导体模板对齐系统、蒸镀系统、电子显微镜垂直轴定位、原子显微镜垂直轴定位、磁悬浮轴控制、部件研磨加工的精确定位、镜片控制、物质收缩测试测量、机械结构变形探测与测试。
主要特点
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尺寸小巧
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埃米级分辨率
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有1、2或3通道可配电涡流探头
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可配13种电涡流探头
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工作温度：0～70ºC(补偿范围15～55ºC)
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符合CE和RoHS标准
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输出负载电流<20mA(有短路和过载保护)
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供电电压：15～30V，<50mA(有容错保护、短路保护)
前置器中高频振荡电流通过延伸电缆流入探头线圈，在探头头部的线圈中产生交变的磁场。当被测金属体靠近这一磁场，则在此金属表面产生感应电流，与此同时该电涡流场也产生一个方向与头部线圈方向相反的交变磁场，由于其反作用，使头部线圈高频电流的幅度和相位得到改变（线圈的有效阻抗），这一变化与金属体磁导率、电导率、线圈的几何形状、几何尺寸、电流频率以及头部线圈到金属导体表面的距离等参数有关。通常假定金属导体材质均匀且性能是线性和各项同性，则线圈和金属导体系统的物理性质可由金属导体的电导率б、磁导率ξ、尺寸因子τ、头部体线圈与金属导体表面的距离D、电流强度I和频率ω参数来描述。则线圈特征阻抗可用Z=F(τ,
ξ,
б,
D,
I,
ω)函数来表示。通常我们能做到控制τ,
ξ,
б,
I,
ω这几个参数在一定范围内不变，则线圈的特征阻抗Z就成为距离D的单值函数，虽然它整个函数是一非线性的，其函数特征为“S”型曲线，但可以选取它近似为线性的一段。于此，通过前置器电子线路的处理，将线圈阻抗Z的变化，即头部体线圈与金属导体的距离D的变化转化成电压或电流的变化。输出信号的大小随探头到被测体表面之间的间距而变化，电涡流传感器就是根据这一原理实现对金属物体的位移、振动等参数的测量。
当被测金属与探头之间的距离发生变化时，探头中线圈的Q值也发生变化，Q值的变化引起振荡电压幅度的变化，而这个随距离变化的振荡电压经过检波、滤波、线性补偿、放大归一处理转化成电压（电流）变化，最终完成机械位移(间隙)转换成电压（电流）。由上所述，电涡流传感器工作系统中被测体可看作传感器系统的一半，即一个电涡流位移传感器的性能与被测体有关。
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