真空镀膜设备中的扩散泵连续使用6个月以上，抽速就会明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。
真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。用烧碱（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（ 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气，再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。
当真空镀膜机（真空镀膜设备）粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。将泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。
瓷砖镀金机镀膜真空怎么调？
1，修哪个：镀膜的时候，哪个起作用修哪个
2，怎么修：先随便做一个，放上去镀单层膜，计算膜厚，厚的地方增加宽度，薄的地方减小宽度，直到一致
3，修多少：各设备不一样，要测试才能知道，先用1cm作为基准，修之前修之后测算膜厚，就知道修多少了。
镀膜机镀出的产品掉膜是怎么回事？急急急！！！
镀膜机操作步骤
1、打开冷却水开关、空压机开关（空压机红色按钮向上拔为打开，向下按为关闭）和镀膜机总电源开关。
2、将玻璃基板至于样品托中，导电一面向下，刻蚀带一侧靠近样品托蓝色线条一侧。
3、预处理室放气，待放好气后拧紧放气阀，打开预处理室仓门，将样品托放在推拉杆上，关闭仓门。
4、打开机械A、机械B泵及四个真空计。
5、基片预处理：打开角阀，当预处理室真空度达到2.0E1 ～5.0E1 (2.0×10～5.0×10)Pa时，关闭角阀、打开真空蒸镀室角阀。打开直流溅射电源、再按下启动按钮，调节电流0.020-0.025A，轰击10分钟，将电流调节至0A，按下停止按钮，关闭电源。
6、打开A泵，角阀，待度达4.0E0以下时，即当两边真空气压基本相当的的时候（约十分钟），关闭角阀，A阀，打开蒸镀室与预处理室之间的闸板阀（顺时针方向开，逆时针方向关），检查旋转台下的挡板，一定要将挡板放在恰当位置。样品传送至蒸镀室，用机械手抓取样品托，并保持在机械手上；然后将推拉杆拉回至预处理中，关闭闸板阀；降低蒸镀台与机械手平齐，将样品托轻轻推入蒸镀台下方的样品托导引槽（上方导引槽）。
7、当蒸镀室真空度达到1.2E1（1.2×10） Pa以下时，关闭角阀、机械A泵。打开闸板阀，将蒸镀室抽高真空至7.0E-4Pa（约2个小时）。
8、插入掩模板：将样品升降电源调到手动，将蒸镀台旋转180度（用皮带精确定位），用升降盒使蒸镀台最下方的掩模板导引槽与掩膜版库轨道，至于同一水平线上，用机械手将掩膜版轻轻推至蒸镀台的掩模板导引槽。（注意机械手用完一定要挂起）
9、蒸镀过程：打开快门总开关，膜厚测试仪（F1是清零，F5是开始或停止）放样品托的架子升最高，且旋转。打开PID（束源炉）开关，调节温度，依次蒸镀相关材料，制备OLED器件。
10、若继续实验，打开机械A泵、预处理室角阀，至预处理室真空度达到4.0E0（4.0×1） Pa以下，同时将掩膜版归位，用机械手将样品托取下。打开闸板阀，将推拉杆推至蒸镀室中，将样品托放到推拉杆上，抽回至预处理室，关闭闸板阀,将预处理室放气至大气压，将样品托取出，真空室保持在高真空条件下。
11、若不再实验，则关闭闸板阀，放气（真空室顶部放气按钮）。打开真空室，取出样品。打开快门控制电源，打开快门1，更换钨丝（每做一次实验更换一次），将铝丝挂在钨丝上（5个，挂于弯折处），检查蒸镀所需材料。关闭真空室，待分子泵数字为零时关闭分子泵后关闭机械泵B。打开机械泵A，真空室角阀，对真空室抽低真空至12Pa以下，关闭角阀，机械泵A，关闭电源。
如果长时间不用时一定要关闭循环水冰柜电源，以防冻裂。
掉膜的原因较多，首先看看你们的镀膜机是不是漏气。可检漏。若是几台真空炉频繁出现掉膜，还要考虑是不是来料问题，还是离子清洗效果不行。
还有可能镀膜工艺不行。七彩是不是圆柱钛靶中毒了
以上就是关于真空镀膜机（真空镀膜设备）如何维护?全部的内容，如果了解更多相关内容，可以关注我们，你们的支持是我们更新的动力！
